Vacuum physics and techniques /

Saved in:
Bibliographic Details
Author / Creator:Delchar, T. A.
Edition:1st ed.
Imprint:London ; New York : Chapman & Hall, 1993.
Description:viii, 253 p. : ill. ; 22 cm.
Language:English
Series:Physics and its applications 6
Subject:
Format: Print Book
URL for this record:http://pi.lib.uchicago.edu/1001/cat/bib/1507280
Hidden Bibliographic Details
ISBN:0412465906 (alk. paper)
Notes:Includes bibliographical references (p. [246]-247) and index.

MARC

LEADER 00000cam a2200000 a 4500
001 1507280
003 ICU
005 19970811202300.0
008 931019s1993 enka b 001 0 eng
010 |a  92021136 
020 |a 0412465906 (alk. paper) 
035 |a (ICU)BID17542599 
035 |a (OCoLC)26974060 
040 |c DLC  |d DLC$dOrLoB 
050 0 0 |a QC166  |b .D45 1993 
082 |a 533/.5  |2 20 
100 1 |a Delchar, T. A.  |0 http://id.loc.gov/authorities/names/n85119571  |1 http://viaf.org/viaf/41916392 
245 1 0 |a Vacuum physics and techniques /  |c T.A. Delchar. 
250 |a 1st ed. 
260 |a London ;  |a New York :  |b Chapman & Hall,  |c 1993. 
300 |a viii, 253 p. :  |b ill. ;  |c 22 cm. 
336 |a text  |b txt  |2 rdacontent  |0 http://id.loc.gov/vocabulary/contentTypes/txt 
337 |a unmediated  |b n  |2 rdamedia  |0 http://id.loc.gov/vocabulary/mediaTypes/n 
338 |a volume  |b nc  |2 rdacarrier  |0 http://id.loc.gov/vocabulary/carriers/nc 
440 0 |a Physics and its applications  |v 6 
504 |a Includes bibliographical references (p. [246]-247) and index. 
505 2 0 |g 1.  |t Some aspects of kinetic theory.  |g 1.2.  |t Maxwell's distribution of velocities.  |g 1.3.  |t Ideal gas laws.  |g 1.4.  |t Non-equilibrium properties of gases.  |g 1.5.  |t The mean free path.  |g 1.6.  |t Viscosity of gases at ordinary pressures.  |g 1.7.  |t Viscosity of gases at low pressures.  |g 1.8.  |t Slip coefficient.  |g 1.9.  |t Viscosity of gases at very low pressures.  |g 1.10.  |t Thermal conductivity at ordinary pressures.  |g 1.11.  |t Thermal conductivity at low pressures.  |g 1.12.  |t Temperature jump distance.  |g 1.13.  |t Accommodation coefficient.  |g 1.14.  |t Free-molecule heat conduction.  |g 1.15.  |t Diffusion of gases.  |g 1.16.  |t Molecule collision frequency.  |g 1.17.  |t Thermal transpiration (thermomolecular flow) --  |g 2.  |t Flow of gases through tubes and orifices.  |g 2.1.  |t Introduction; the Knudsen number.  |g 2.2.  |t Flow conductance and impedance.  |g 2.3.  |t Viscous flow.  |g 2.4.  |t Molecular flow.  |g 2.5.  |t Effusion and molecular flow through short tubes: the Clausing coefficient.  |g 2.6.  |t Flow in the transition range; Knudsen flow.  |g 2.7.  |t Free-molecule conductance of tubes in series.  |g 2.8.  |t Flow in vacuum systems: the speed of a pump --  |g 3.  |t Physisorption, chemisorption and other surface effects.  |g 3.2.  |t Physisorption.  |g 3.3.  |t Chemisorption.  |g 3.4.  |t The condensation coefficient.  |g 3.5.  |t The sticking probability.  |g 3.6.  |t Getters and gettering.  |g 3.7.  |t Sputtering.  |g 3.8.  |t Sorbents and molecular sieves.  |g 3.9.  |t Electrical clean-up.  |g 3.10.  |t Electron and ion stimulated desorption.  |g 3.11.  |t Diffusion.  |g 3.12.  |t Permeation.  |g 3.13.  |t Outgassing --  |g 4.  |t Vacuum pumps; the physical principles.  |g 4.2.  |t Types of mechanical pumps.  |g 4.3.  |t The rotary oil pump.  |g 4.4.  |t Hook and claws pump.  |g 4.5.  |t Roots-type pump.  |g 4.6.  |t The molecular drag pump, turbomolecular pumps.  |g 4.7.  |t Diffusion pumps.  |g 4.8.  |t Getter pumps and getter-ion pumps.  |g 4.9.  |t Sorption pumps.  |g 4.10.  |t The cryopump --  |g 5.  |t Pressure measurement.  |g 5.1.  |t Introduction; the vacuum spectrum.  |g 5.2.  |t Absolute gauges.  |g 5.3.  |t Spinning rotor gas friction gauge.  |g 5.4.  |t Pirani gauge.  |g 5.5.  |t Thermocouple gauge.  |g 5.6.  |t Thermistor gauge.  |g 5.7.  |t Ionization gauges.  |g 5.8.  |t The hot cathode ionization gauge.  |g 5.9.  |t The Bayard-Alpert gauge.  |g 5.10.  |t Modulated Bayard-Alpert gauge.  |g 5.11.  |t The high pressure ion gauge.  |g 5.12.  |t The Penning gauge, cold cathode ionization gauge.  |g 5.13.  |t Magnetron ionization gauges.  |g 5.14.  |t Hot cathode magnetron gauge.  |g 5.15.  |t Calibration for different gases.  |g 5.16.  |t Partial pressure gauges and residual gas analysers.  |g 5.17.  |t Magnetic deflection analysers.  |g 5.18.  |t The omegatron.  |g 5.19.  |t Monopoles, quadrupoles and ion traps --  |g 6.  |t Vacuum system design.  |g 6.1.  |t Review of vacuum system components.  |g 6.2.  |t Gas flow between chamber and pump.  |g 6.3.  |t Residual gas sources.  |g 6.4.  |t Ultimate pressure, speed of exhaust.  |g 6.5.  |t Pump-down time.  |g 6.6.  |t Design of a high vacuum system.  |g 6.7.  |t Backing pumps.  |g 6.8.  |t High vacuum pumps.  |g 6.9.  |t Ultrahigh vacuum --  |g 7.  |t Construction accessories and materials.  |g 7.2.  |t Static pipe couplings and seals.  |g 7.3.  |t Dynamic vacuum seals.  |g 7.4.  |t Indirect motion techniques.  |g 7.5.  |t Vacuum valves.  |g 7.6.  |t Valveless gas admission.  |g 7.7.  |t Glass/ceramic-metal seals.  |g 7.8.  |t Optical windows and electrical feedthroughs.  |g 7.9.  |t Baffles, cold traps and sorption traps.  |g 7.10.  |t Metals for vacuum use --  |g 8.  |t Leak detection.  |g 8.2.  |t Reviewing the symptoms.  |g 8.3.  |t The leak detection routine.  |g 8.4.  |t Leak detection using a test gas.  |g 8.5.  |t Leak detection using partial pressure analysis --  |g 9.  |t Vacuum systems in practice.  |g 9.2.  |t The portable leak detector.  |g 9.3.  |t Vacuum-based coating systems.  |g 9.4.  |t Molecular beam production.  |g 9.5.  |t A molecular beam system.  |t Appendix A Standard vacuum technology symbols --  |t Appendix B Brief outline of some vacuum material properties --  |t Appendix C Vacuum equipment manufacturers and suppliers. 
650 0 |a Vacuum  |0 http://id.loc.gov/authorities/subjects/sh85141726 
650 0 |a Vacuum technology  |0 http://id.loc.gov/authorities/subjects/sh85141743 
650 7 |a Vacuum.  |2 fast  |0 http://id.worldcat.org/fast/fst01163601 
650 7 |a Vacuum technology.  |2 fast  |0 http://id.worldcat.org/fast/fst01163626 
850 |a ICU 
901 |a ToCBNA 
903 |a HeVa 
929 |a cat 
999 f f |i e460aa6a-0b3e-571b-99dd-b88bef2bf292  |s 991234c1-fa8c-5557-a0cb-f064a458b6f9 
928 |t Library of Congress classification  |a QC166.D450 1993  |l JCL  |c JCL-Sci  |i 2234724 
927 |t Library of Congress classification  |a QC166.D450 1993  |l JCL  |c JCL-Sci  |e CRERAR  |b 40178670  |i 2902780